Trung Quốc phát triển thiết bị phân tích bán dẫn 0.1 nano

Trung Quốc đã nội địa hóa kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) cao cấp cần thiết cho phân tích ở cấp độ nguyên tử của bán dẫn và vật liệu tiên tiến.

Công ty thiết bị khoa học Trung Quốc Guo Yi Liang Zi (国仪量子, CIQTEK) đã công bố kính hiển vi điện tử truyền qua 200kV mang tên 'TEM-F200' tại hội nghị khoa học kính hiển vi điện tử toàn quốc năm 2026 diễn ra tại Ninh Ba vào ngày 18 tháng 10. Sản phẩm này đã nhận được nhiều đánh giá tích cực từ ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc, theo báo Thượng Hải ngày 22 tháng 10.

Sản phẩm này có khả năng phân giải thông tin đạt 0.1 nanomet (nm) và phân giải điểm đạt 0.25nm, đã đạt đến giai đoạn có thể sản xuất hàng loạt và cung cấp. Guo Yi Liang Zi là công ty phát triển thiết bị đo lường chính xác và thiết bị khoa học cao cấp có trụ sở tại Hợp Phì, tỉnh An Huy, Trung Quốc. Công ty đã xây dựng năng lực nghiên cứu, phát triển, sản xuất, bán hàng và dịch vụ cho các thiết bị phân tích chính xác, bao gồm cả kính hiển vi điện tử. Sản phẩm này được phát triển hoàn toàn từ các mô-đun cốt lõi đến phần mềm điều khiển và phân tích, cũng như tích hợp hệ thống. Công ty cho biết đã giải quyết các vấn đề kỹ thuật liên quan đến việc kết nối ổn định các thiết bị 200kV như súng điện tử, nguồn điện cao áp, quang học điện tử và bộ phát hiện.

Trong ngành công nghiệp bán dẫn, kính hiển vi điện tử truyền qua là thiết bị phân tích cốt lõi để quan sát cấu trúc vi mô bên trong chip. Nó cho phép quan sát mặt cắt của bán dẫn với độ phân giải cao để phân tích cấu trúc transistor, độ dày lớp mỏng, bề mặt giữa các vật liệu, và cấu trúc tinh thể. Thiết bị này cũng được sử dụng để xác định nguyên nhân của các lỗ hổng hoặc khuyết tật nhỏ phát sinh trong quá trình sản xuất, cũng như kiểm tra hiệu suất và độ tin cậy của các linh kiện. Khi quy trình vi mô tiến triển, khả năng xác định chính xác nguyên nhân của các khuyết tật sẽ quyết định năng suất và khả năng cạnh tranh trong phát triển quy trình tiên tiến.

Trên thị trường toàn cầu, các nhà cung cấp chính bao gồm Thermo Fisher Scientific của Mỹ và các công ty Nhật Bản như Nhật Bản Điện Tử và Hitachi. Các sản phẩm chủ lực 200kV của những công ty này có khả năng phân giải thông tin khoảng 0.11-0.12nm, trong khi sản phẩm mới của Guo Yi Liang Zi gần đạt được các chỉ số hiệu suất chính của các sản phẩm hàng đầu toàn cầu. Việc nội địa hóa này giúp các công ty bán dẫn Trung Quốc giảm sự phụ thuộc vào các nhà cung cấp nước ngoài không chỉ trong việc mua thiết bị mà còn trong việc cung cấp các linh kiện cốt lõi, bảo trì và hỗ trợ phần mềm.



* Bài viết này được dịch tự động bằng AI.

• #nội địa hóa
• #bán dẫn
• #kính hiển vi điện tử truyền qua