Trung Quốc đã công bố mẫu thử của hệ thống nguồn cực tím (EUV) - một trong những thành phần chính của thiết bị chiếu sáng bán dẫn cần thiết cho sản xuất bán dẫn tiên tiến.
Công ty phát triển nguồn sáng bán dẫn Langdao Suoyan (朗道燧岩) đã lần đầu tiên giới thiệu mẫu thử hệ thống nguồn EUV tại Hội chợ Công nghiệp Quốc tế Trung Quốc lần thứ 26 đang diễn ra tại Thượng Hải từ ngày 12 tháng 10. Theo thông tin từ báo chí nhà nước Trung Quốc, tỷ lệ nội địa hóa của hệ thống này đạt 90% và hầu hết các thành phần chính đều được phát triển nội địa.
Nguồn EUV là công nghệ cốt lõi cần thiết cho việc sản xuất bán dẫn tiên tiến dưới 7nm. Nó sử dụng plasma được tạo ra bằng cách chiếu laser công suất cao vào giọt thiếc, từ đó phát sinh bức xạ cực tím với bước sóng 13.5nm. Nguồn sáng là thành phần chính trong thiết bị chiếu sáng EUV. Ngoài hệ thống nguồn, các thành phần chính khác của thiết bị chiếu sáng EUV bao gồm hệ thống quang học phản xạ chính xác, mặt nạ, và hệ thống vận chuyển & căn chỉnh wafer.
Hệ thống nguồn của Langdao Suoyan áp dụng phương pháp plasma tạo ra bằng laser (LPP), tương tự như phương pháp mà ASML của Hà Lan sử dụng trong thiết bị chiếu sáng EUV thương mại. Hệ thống nguồn công suất thấp mà công ty công bố, mang tên 'FlintNano LPP-OXXO', có công suất EUV trên 15W và thời gian hoạt động liên tục vượt quá 100 giờ. Trong khi đó, thiết bị chiếu sáng EUV thương mại của ASML thường yêu cầu công suất nguồn lên tới hàng trăm watt. Để có thể được ứng dụng trong ngành công nghiệp, cần nâng cao công suất, độ ổn định lâu dài và tỷ lệ hoạt động.
Một đại diện tại hội chợ cho biết: "Hệ thống nguồn này cần thêm 3-5 năm nữa để đạt đến giai đoạn sản xuất hàng loạt". Việc công bố này được đánh giá là có ý nghĩa, cho thấy Trung Quốc đã tiến từ nghiên cứu lý thuyết sang giai đoạn xác thực mẫu thử trong công nghệ nguồn EUV.
Langdao Suoyan được thành lập vào năm 2024, do nhóm nghiên cứu của Tiến sĩ Vương Hao (王豪) thành lập dựa trên những thành tựu nghiên cứu plasma phóng điện khí tại Đại học Thanh Hoa. Công ty đã thu hút đầu tư từ các quỹ đầu tư thuộc Zhangjiang Hi-Tech (张江高科) và Zhongxin Juyuan (中芯聚源).
* Bài viết này được dịch tự động bằng AI.
© Bản quyền thuộc về Thời báo Kinh tế AJU & www.ajunews.com: Việc sử dụng các nội dung đăng tải trên vietnam. kyungjeilbo.com phải có sự đồng ý bằng văn bản của Aju News Corporation.