Đặt hàng thiết bị CNT100 SEMI từ Canatu… hợp đồng bao gồm tiền đặt cọc hơn 5 triệu euro
Dự kiến đưa vào sử dụng vào năm 2027… mở rộng năng lực sản xuất pellicle CNT trước khi sản xuất 2 nanomet của Samsung
Công ty sản xuất pellicle bán dẫn FST sẽ bổ sung thiết bị sản xuất pellicle CNT từ công ty Canatu của Phần Lan. Điều này được hiểu là nhằm tăng cường năng lực sản xuất pellicle CNT cho quy trình sản xuất 2 nanomet của Samsung Electronics. Phân tích cho thấy, dự án pellicle CNT đã bước vào giai đoạn chuẩn bị sản xuất sau khi hoàn tất phát triển công nghệ.
Theo thông tin từ ngành ngân hàng đầu tư vào ngày 25, FST đã đặt hàng thiết bị sản xuất pellicle CNT mang tên 'CNT100 SEMI' từ công ty công nghệ CNT Canatu. Đơn hàng này là sự tiếp nối của các mặt hàng có thời gian giao hàng dài mà FST đã đặt hàng vào đầu năm nay. Sau khi đã đảm bảo các linh kiện có thời gian sản xuất dài, FST đã tiếp tục đặt hàng thiết bị chính, đánh dấu sự khởi đầu cho việc đầu tư nhằm tăng sản lượng pellicle CNT.
Theo Canatu, tổng giá trị hợp đồng bao gồm các mặt hàng có thời gian giao hàng dài đã đặt trước là hơn 5 triệu euro (khoảng 80 tỷ đồng). Doanh thu từ bản quyền công nghệ và bán vật tư tiêu hao không được tính vào hợp đồng này. Thiết bị dự kiến sẽ được giao cho FST vào năm 2027.
CNT100 SEMI là thiết bị dùng để sản xuất màng CNT, vật liệu chính của pellicle CNT. FST đang phát triển pellicle CNT sử dụng công nghệ và thiết bị của Canatu cho quy trình cực tím (EUV).
Pellicle là lớp mỏng dùng để bảo vệ mặt nạ trong quá trình khắc mạch bán dẫn khỏi bụi và tạp chất. Khi mạch bán dẫn trở nên nhỏ hơn, ngay cả những tạp chất nhỏ cũng có thể dẫn đến lỗi, do đó tầm quan trọng của pellicle ngày càng tăng. Đặc biệt, trong quy trình EUV, pellicle cần phải chịu được ánh sáng mạnh trong khi vẫn cho phép ánh sáng đi qua tốt. Pellicle CNT được làm từ ống nano carbon dưới dạng lớp mỏng, với ưu điểm là tỷ lệ truyền sáng cao và khả năng chịu nhiệt tốt.
Sự hợp tác giữa FST và Canatu đã được mở rộng dần dần với mục tiêu sản xuất hàng loạt. Canatu đã cung cấp thiết bị CNT100 SEMI đầu tiên cho FST vào tháng 9 năm 2024, và thiết bị cùng với thiết bị xử lý sau đã nhận được sự chấp thuận của khách hàng vào tháng 7 năm ngoái. Vào tháng 10 năm ngoái, Canatu đã cấp giấy phép sản xuất thương mại pellicle CNT cho FST. FST đã đặt hàng các linh kiện cần thiết cho thiết bị mới vào đầu năm nay và giờ đây đã đặt hàng thiết bị chính. Canatu cũng cho biết đơn hàng này nhằm tăng cường năng lực sản xuất pellicle CNT của FST.
Đầu tư này càng được chú ý hơn khi nó liên quan đến việc chuẩn bị sản xuất hàng loạt 2 nanomet của Samsung Electronics. FST đã hợp tác với Samsung Electronics trong việc phát triển pellicle CNT và Samsung đã đầu tư khoảng 430 tỷ đồng vào FST vào năm 2021 để nắm giữ cổ phần.
Ngoài ra, FST cũng đã nhận đơn hàng cho thiết bị liên quan đến pellicle EUV sẽ được sử dụng tại nhà máy sản xuất bán dẫn Taylor của Samsung tại Mỹ. Các thiết bị này bao gồm thiết bị tự động gỡ bỏ và lắp đặt pellicle (EPMD), thiết bị kiểm tra tạp chất trên màng và khung pellicle (EPIS), và thiết bị kiểm tra thùng chứa (EPODIS). Những thiết bị này là cần thiết để sử dụng pellicle CNT trong dây chuyền sản xuất của Samsung Electronics.
Với việc bổ sung thiết bị từ Canatu cần thiết cho sản xuất pellicle CNT, năng lực sản xuất và thiết bị liên quan của FST dự kiến sẽ được mở rộng. Ngành công nghiệp cho rằng FST đã bắt đầu chuẩn bị tăng sản lượng pellicle CNT để phù hợp với việc mở rộng sản xuất 2 nanomet của Samsung.
Maximilian Slawinski, Giám đốc điều hành của Canatu, cho biết đơn hàng này thể hiện sự tin tưởng liên tục vào công nghệ CNT và thiết bị sản xuất, đồng thời xác nhận lại cơ hội thị trường của pellicle CNT trong sản xuất bán dẫn tiên tiến.
* Bài viết này được dịch tự động bằng AI.
SONG YOONSEO
sys0303@ajunews.com
© Bản quyền thuộc về Thời báo Kinh tế AJU & www.ajunews.com: Việc sử dụng các nội dung đăng tải trên vietnam. kyungjeilbo.com phải có sự đồng ý bằng văn bản của Aju News Corporation.